经由光学变焦镜头组系统放大，并使用高分辨率的摄影机得到影像画面，使用InSpec测量软件，对影像像素进行分析，获取影像画面中单个或多个几何元素，并根据像素计算几何元素本身的形状以及位置。

　　通过马达和光学尺控制机台移动，得到不同位置的影像画面进行组合分析，可获得多个元素间的相对位置系，并可通过拼接不同位置的影像，获得被测量工件的整体二维影像图输出。

　　以二维的影像测量为主，也可以结合接触式探针系统，测量工件侧面的孔洞或是沟槽等，或是结合旋转夹头测量系统，以旋转的方式测量轴件，或是结合激光测量系统，执行高度测量、快速对焦以及工件平面度的测量。

　　Micro-Vu影像测量仪可以对各种复杂的工件轮廓和表面形状进行精密测量，广泛应用于光电与太阳能、手机、笔电、电脑及周边、摄像头模组、显示器与触控面板、橡塑胶、PCB&FPC、医疗、半导体、航空航天、机车/汽车、精密模具、冲压、自动化及周边等行业零配件的检测。

　　手动系列相对于全自动系列价格相对便宜，但是操作起来不够简便省时。全自动系列的操作更加便捷高效，适合大批量快速测量。

　　龙门式影像测量仪，如Excel系列，包括Excel 510系列，700系列，1050系列，1600系列，1650系列，以及超大行程的200系列和250系列。

　　软件包含校正功能、测量功能、几何公差检测、数模导入、自动轮廓扫描、自动调光、报告输出、计算器、密码保护等功能。